La aplicación de polvo de carburo de silicio en la producción de obleas de silicio.
La producción de obleas de silicio consiste en preparar primero una base de carburo de silicio . En la actualidad, se utiliza principalmente para mejorar el método Lly, el método CVD de alta temperatura y el método de solución.
Método Lly, también conocido como método de sublimación, su principio básico es: en el grafito cilíndrico hueco (capa exterior de grafito, anillo de grafito poroso incorporado), se invierte el polvo de carburo de silicio con pureza de grado industrial y se calienta el anillo de grafito poroso entre 2500 °C se descompone y sublima a esta temperatura, produciendo una serie de sustancias en fase gaseosa como el monocristal de silicio, SI2C y SIC2. Debido al gradiente de temperatura entre la pared interior y el anillo de grafito poroso, estas fases gaseosas generan aleatoriamente un núcleo cristalino en la pared interior de la policora. Sin embargo, la tasa de propiedad de Lly es baja, el núcleo del cristal es difícil de controlar y se formarán diferentes estructuras y el tamaño es limitado.
Con la profundización de la investigación, los investigadores propusieron mejorar el método Lely, también conocido como método de transmisión física de gas (PVT), que se mejora sobre la base del método Lly. La fuente SIC para el transporte de material de cristales semilla puede controlar el núcleo de cristal y los cristales. Este método puede obtener cristales SIC con mayor diámetro y menor densidad de deficiencia de expansión. Con la mejora continua de la tecnología de crecimiento, las empresas que se han industrializado incluyen American Cree, Dowcorning, Ⅱ-ⅵ, SiCRYSTAL de Alemania, Nipponsteel de Japón, Shandong Tianyue, Tiando Henda en China.
En el método PVT, hay muchos factores que afectan la síntesis de cristales SIC. Entre ellos, el polvo SIC como materia prima sintética afectará directamente la calidad del crecimiento y las propiedades eléctricas de los monocristales SIC. Por lo tanto, en los últimos años, la preparación de polvo SIC de alta pureza se ha convertido gradualmente en un foco de investigación en el campo del crecimiento de monocristales SIC. En la actualidad, existen tres métodos principales de polvo SIC sintético en la industria: el primero es el método de fase sólida, y el más representativo de la fase sólida es el método Acheson y el método de síntesis de alta temperatura de autodifusión; Los más representativos de la ley son el método solución-gel y el método de descomposición térmica de polímeros; el tercero es el método de la fase gaseosa. Los más representativos del método de fase gaseosa son el método de deposición química de gases y el método de plasma.
