Aplicación de carburo de silicio en disco abrasivo

Aplicación de carburo de silicio en disco
abrasivo Disco abrasivo. Los discos abrasivos son equipos de proceso importantes para la producción de obleas de silicio para VLSI en la industria de los semiconductores. Los discos abrasivos hechos de cerámica de carburo de silicio se pueden esmerilar y pulir a alta velocidad debido a la alta dureza de los discos abrasivos y al bajo coeficiente de desgaste y expansión térmica de las obleas de silicio. Especialmente en los últimos años, el tamaño de las obleas de silicio se ha vuelto cada vez más grande, lo que plantea requisitos más altos sobre la calidad y eficiencia de la molienda de obleas de silicio. El uso de discos de pulir cerámicos de carburo de silicio mejorará en gran medida la calidad y eficiencia del pulido de obleas de silicio.